低溫等離子凈化：

等離子體被稱(chēng)作除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外的第四種物質(zhì)存在形式。等離子體是由電子、離子、自由基和中性離子組成的導電性流體，整體保持電中性。按離子的溫度，等離子體可分為熱平衡等離子體（熱等離子體）和非平衡等離子體（低溫等離子體）。在熱平衡等離子體中，電子與其他離子的溫度相等，一般在5000K以上；在非平衡等離子體中，電子溫度一般要高達數萬(wàn)度，而其他離子的溫度只有300—500K。

采用低溫等離子體分解氣體污染物時(shí)，等離子體中的高能電子起決定性作用。數萬(wàn)度的高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉化成基態(tài)分子（原子）的內能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一些列過(guò)程，使氣體處于活化狀態(tài)。電子的能量較低時(shí)，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應后被脫除。當電子平均能量超過(guò)污染物分子化學(xué)鍵結合能時(shí)，分子鍵斷裂，污染物分解。等離子體去除廢氣污染物的基本過(guò)程

過(guò)程一：高能電子的直接轟擊

過(guò)程二：O原子或臭氧的氧化

             O2+e→2O 

過(guò)程三：OH自由基的氧化

             H2O+e→OH+H

             H2O+O→2OH

             H+O2→OH+O 

過(guò)程四：分子碎片氧氣的反應